提高混料效果 先导薄膜开放混料装置及用于靶材的制备系统专利 (提高混料效果的措施)

专利摘要显示，本发明地下一种混料装置，包括支架、衔接臂、料仓及多个超声机构。衔接臂绕第一轴线可转动地衔接于所述支架；料仓衔接于所述衔接臂远离所述支架的一端，且能够绕第二轴线自转；多个超声机构距离布设于所述料仓的外侧外表；其中，所述第一轴线和所述第二轴线呈角度设置。采纳上述的混料装置，料仓绕第一轴线和第二轴线转动的环节中能够对料仓内的粉末启动混料，由于料仓能够启动恣意角度的转动，可以提高料仓内无序水平，从而提高混料效果。同时，混料环节中超声机构能够对料仓内的粉末启动超声处置，从而增加粉末沾附在料仓的内壁，简易料仓的清算。本发明还地下一种用于靶材的制备系统。