提高氧化铝与薄膜的结合力 劲嘉聚能开放氧化铝制备专利 (氧化铝升华)

专利摘要显示，本发明提供的氧化铝制备设备、氧化铝膜制备方法及氧化铝膜，其中，氧化铝制备设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有蒸发槽，所述蒸发槽上设置有蒸发舟和送气管所述送气管的出气口位于所述蒸发舟的上方，且所述送气管的出气口的出气方向与蒸发舟蒸发铝金属的蒸发方向分歧。本开放将送气管设置在蒸发舟与蒸发舟的上方位置，该送气管的出气口朝上，这样设置一方面出气口不会被堵住，一方面由于气体出来的方向和铝金属蒸发的方向分歧，可以提高氧化铝与薄膜的结合力；另一方面氧化铝颗粒不会相互碰撞联分解大颗粒将薄膜扫穿，并且构成的氧化铝愈加平均。