航菱微取得曲面硅电极微孔加工装置专利 防止硅电极因过热而损坏 (航菱科技有限公司)

专利摘要显示，本适用新型提供了一种曲面硅电极微孔加工装置，包括加工组件，加工组件包括L形板、第一驱动电机、转动杆、调理箱。本适用新型将曲面硅电极启动固定，电动推杆经过圆块带动激光出现器移动，激光出现器出现激光束，经过激光束对曲面硅电极启动微孔加工，第三驱动电机带动风叶转动对加工的位置启动散热冷却，防止硅电极容易因过热而损坏，第一驱动电机经过转动杆带动调理箱转动，调理箱经过移动块带动电动推杆转动，电动推杆经过圆块带动激光出现器旋转使得激光出现器可呈环形对其开孔第二驱动电机经过丝杆带动移动块移动移动块经过电动推杆带动圆块移动，圆块带动激光出现器移动，成功对加工头位置和角度的调整，提高加工的顺应性和灵敏性。

微波能量是由微波出现器发生的，微波出现器包括微波管和微波管电源两个部分。 其中微波管电源（简称电源或微波源）的作用是把常用的交流电能变成直流电能，为微波管的任务发明条件。 微波管是微波出现器的中心，它将直流电能转变成微波能。 微波管有微波晶体管和微波电子管两大类。 微波晶体管输入功率较小，普通用于测量和通讯等范围。 微波电子管种类很多，常用的有磁控管、速调管、行波管等。 它们的任务原理不同、结构不同、性能各异，在雷达、导航、通讯、电子对立和加热、迷信研讨等方面都失掉普遍的运行。 由于磁控管的结构简易、效率高、任务电压低、电源简易和顺应负载变化的才干强，因此特别适用于微波加热和微波能的其他运行。 磁控管由于任务形态的不同可分为脉冲磁控管和延续波磁控管两类。 微波加热设备关键任务于延续波形态，所以多用延续波磁控管。 磁控管是一种用来发生微波能的电真空器件。 实质上是一个置于恒定磁场中的二极管。 管内电子在相互垂直的恒定磁场和恒定电场的控制下，与高频电磁场出现相互作用，把从恒定电场中取得的能量转变成微波能量，从而到达发生微波能的目的。 磁控管种类很多，这里关键引见多腔延续波磁控管。 磁控管由管芯和磁钢（或电磁铁）组成。 管芯的结构包括阳极、阴极、能量输入器和磁路系统等四部分。 管子外部坚持高真空形态。 上方区分引见各部分的结构及其作用。 一、阳极阳极是磁控管的关键组成之一，它与阴极一同构成电子与高频电磁场相互作用的空间。 在恒定磁场和恒定电场的作用下，电子在此空间内成性能量转换的义务。 磁控管的阳极除与普通的二极管的阳极一样搜集电子外，还对高频电磁场的振荡频率起着选择性的作用。 阳极由导电良好的金属资料（如无氧铜）制成，并设有多个谐振腔，谐振腔的数目必需是偶数，管子的任务频率越高腔数越多。 阳极谐振腔的型式常为孔槽形、扇形和槽扇型，阳极上的每一个小谐振腔相当于一个并联的2C振荡回路。 以槽扇型腔为例，可以以为腔的槽部分关键构成振荡回路的电容，而其扇形部分关键构成振荡回路的电感。 由微波技术通常可知，谐振腔的谐振频率与腔体的几何尺寸成正比，腔体越大其任务频率越低。 于是，我们可以依据腔体的尺寸来估量它的任务频段。 磁控管的阳极由许多谐振腔耦合在一同，构成一个复杂的谐振系统。 这个系统的谐振腔频率关键选择于每个小谐振腔的谐振频率，我们也可以依据小谐振腔的大小来估量磁控管的任务频段。 磁控管的阳极谐振系统除能发生所要求的电磁振荡外，还能发生不同特性的多种电磁振荡。 为使磁控管稳如泰山的任务在所需的形式上，常用隔型带来隔离搅扰形式。 隔型带把阳极翼片一个距离一个地衔接起来，以参与任务形式与相邻搅扰形式之间的频率距离。 另外，由于经能量交流后的电子还具有一定的能量，这些电子打上阳极使阳极温度升高，阳极搜集的电子越多(即电流越大)，或电子的能量越大(能量转换率越低)，阳极温度越高，因此，阳极需有良好的散热才干。 普通状况下功率管采用强迫风冷，阳极带有散热片，大功率管则多用水冷，阳极上有冷却水套。 二、阴极及其引线磁控管的阴极即电子的发射体，又是相互作用空间的一个组成部分。 阴极的性能对管子的任务特性和寿命影响极大，被视为整个管子的心脏。 阴极的种类很多，性能各异。 延续波磁控管中常用直热式阴极，它由钨丝或纯钨丝绕成螺旋外形，通电流加热到规则温度后就具有发射电子的才干。 这种阴极具有加热时期短和抗电子轰击才干强等优势，在延续波磁控管中失掉普遍的运行。 此种阴极加热电流大，要求阴极引线要短而粗，衔接部分要接触良好。 大功率管的阴极引线任务时温度很高，常用强迫风冷散热。 磁控管任务时阴极接负高压，因此引线部分应有良好的绝缘性能并能满足真空密封的要求。 为防止因电子回轰而使阳极过热，磁控管任务稳如泰山后应按规则降低阴极电流以延伸经常使用寿命。 三、能量输入器能量输入器是把相互作用空间中所发生的微波能保送到负载去的装置。 能量输入装置的作用是无损耗、无击穿地经过微波，保证管子的真空密封，同时还要做到便于与外部系统相衔接。 小功率延续波磁控管大多采用同轴输入在阳极谐振腔高频磁场最强的中央。 放置一个耦合环，当穿过环面的磁通质变化时，将在环上发生高频感应电流，从而将高频功率引到环外。 耦合环面积越大，耦合越强。 大功率延续波磁控管常用轴向能量输入器，输入天线经过极靴孔洞衔接到阳极翼片上。 天线普通做成条状或圆棒，也可为锥体，整个天线被输入窗密封。 输入窗常用低损耗特性的玻璃或陶瓷制成。 它不需保证微波能量无损耗地经过和具有良好的真空气密性。 大功率管的输入窗常用强迫风冷来降低由于介质损耗所发生的热量。 四、磁路系统磁控管正常任务时要求有很强的恒定磁场，其磁场感应强度普通为数千高斯。 任务频率越高，所加磁场越强。 磁控管的磁路系统就是发生恒定磁场的装置。 磁路系统分永磁和电磁两大类。 永磁系统普通用于小功率管，磁钢与管芯结实合为一体构成所谓包装式。 大功率管多用电磁铁发生磁场，管芯和电磁铁配合经常使用，管芯内有上、下极靴，以固定磁隙的距离。 磁控管任务时，可以很简易地靠改动磁场强度的大小来调整输入功率和任务频率。 另外，还可以将阳极电流馈入电磁线包以提高管子任务的稳如泰山性。 五、磁控管的正确经常使用磁控管是微波运行设备的心脏，因此，磁控管的正确经常使用是保养微波设备正常任务的必要条件。 磁控管在经常使用时应留意以下几个疑问：1、负载要婚配。 无论什么设备都要求磁控管的输入负载尽或许做到婚配，也就是它的电压驻波比应尽或许地小。 驻波大不只反射功率大，使被处置物料实践失掉的功率增加，而且会惹起磁控管跳模和阴极过热，严重时会损坏管子。 跳模时，阳极电流突然出现跌落。 惹起跳模的要素除管子自身形式分隔度小外，关键有以下几个方面：（1) 电源内阻太大，空载高而激起非π形式。 （2）负载严重失配，不利相位的反射削弱了高频场与电子流的相互作用，而不能维持正常的π模振荡。 （3）灯丝加热缺乏，惹起发射缺乏，或因管内放气使阴极中毒惹起发射缺乏，不能提供π模振荡所需的管子电流。 为防止跳模的出现，要求电源内阻不能过大，负载应婚配，灯丝加热电流应契合说明书要求。 2、冷却。 冷却是保证磁控管正常管任务的条件之一，大功率磁控管的阳极常用水冷，其阴极灯丝引出部分及输入陶瓷窗同时启动强迫风冷，有些电磁铁也用风冷或水冷。 冷却不良将使管子过热而不能正常任务，严重时将烧坏管子。 应严禁在冷却缺乏的条件下任务。 3、合理调整阴极加热功率。 磁控管起振后，由于不利电子回轰阴极使阴极温度升高而处于过热形态，阴极过热将使资料蒸发加剧，寿命缩短，严重时将烧坏阴极。 防止阴极过热的方法是按规则调整降低阴极加热功率。 4、保管和运输磁控管的电极资料为无氧铜、可伐等，在酸、碱湿气中易于氧化。 因此，磁控管的保管应防潮、避开酸碱气氛，防止高温氧化。 包装式磁控管因带磁钢，应防止磁钢的磁性变化，存在时应在管子周围10厘米内不得有铁磁物质存在。 管子运输环节中应放入公用防振包装箱内，以防止受振动撞击而受损坏。 微波炉原理 微波能量是由微波出现器发生的，微波出现器包括微波管和微波管电源两个部分。 其中微波管电源（简称电源或微波源）的作用是把常用的交流电能变成直流电能，为微波管的任务发明条件。 微波管是微波出现器的中心，它将直流电能转变成微波能。 微波管有微波晶体管和微波电子管两大类。 微波晶体管输入功率较小，普通用于测量和通讯等范围。 微波电子管种类很多，常用的有磁控管、速调管、行波管等。 它们的任务原理不同、结构不同、性能各异，在雷达、导航、通讯、电子对立和加热，迷信研讨等方面都失掉普遍的运行。 由于磁控管的结构简易、效率高、任务电压低、电源简易和顺应负载变化的才干强，因此特别适用于微波加热和微波能的其他运行。 磁控管由于任务形态的不同可分为脉冲磁控管和延续波磁控管两类。 微波加热设备关键任务于延续波形态，所以多用延续波磁控管。 磁控管是一种用来发生微波能的电真空器件。 实质上是一个置于恒定磁场中的二极管。 管内电子在相互垂直的恒定磁场和恒定电场的控制下，与高频电磁场出现相互作用，把从恒定电场中取得能量转变成微波能量，从而到达发生微波能的目的。 磁控管种类很多，这里关键引见多腔延续波磁控管。 磁控管由管芯和磁钢（或电磁铁）组成。 管芯的结构包括阳极、阴极、能量输入器和磁路系统等四部分。 管子外部坚持高真空形态。 上方区分引见各部分的结构及其作用。 1 阳极 阳极是磁控管的关键组成之一，它与阴极一同构成电子与高频电磁场相互 作用的空间。 在恒定磁场和恒定电场的作用下，电子在此空间内成性能量转换的义务。 磁控管的阳极除与普通的二极管的阳极一样搜集电子外，还对高频电磁场的振荡频率起着选择性的作用。 阳极由导电良好的金属资料（如无氧铜）制成，并设有多个谐振腔，谐振腔的数目必需是偶数，管子的任务频率越高腔数越多。 阳极谐振腔的型式常为孔槽形、扇形和槽扇型，阳极上的每一个小谐振腔相当于一个并联的2c振荡回路。 以槽扇型腔为例，可以以为腔的槽部分关键构成振荡回路的电容，而其扇形部分关键构成振荡回路的电感。 由微波技术通常可知，谐振腔的谐振频率与腔体的几何尺寸成正比。 腔体越大其任务频率越低。 于是，我们可以依据腔体的尺寸来估量它的任务频段。 磁控管的阳极由许多谐振腔耦合在一同，构成一个复杂的谐振系统。 这个系统的谐振腔频率关键选择于每个小谐振腔的谐振频率，我们也可以依据小谐振腔的大小来估量磁控管的任务频段。 磁控管的阳极谐振系统除能发生所要求的电磁振荡外，还能发生不同特性的多种电磁振荡。 为使磁控管稳如泰山的任务在所需的形式上,常用隔型带来隔离搅扰形式.隔型带把阳极翼片一个距离一个地衔接起来,以参与任务形式与相邻搅扰形式之间的频率距离。 另外,由于经能量交流后的电子还具有一定的能量,这些电子打上阳极使阳极温度升高,阳极搜集的电子越多(即电流越大),或电子的能量越大(能量转换率越低),阳极温度越高,因此,阳极需有良好的散热才干.普通状况下功率管采用强迫风冷,阳极带有散热片.大功率管则多用水冷,阳极上有冷却水套。 2 阴极及其引线 磁控管的阴极即电子的发射体, 又是相互作用空间的一个组成部分。 阴极的性能对管子的任务特性和寿命影响极大，被视为整个管子的心脏。 阴极的种类很多，性能各异。 延续波磁控管中常用直热式阴极，它由钨丝或纯钨丝绕成螺旋外形，通电流加热到规则温度后就具有发射电子的才干。 这种阴极具有加热时期短和抗电子轰击才干强等优势，在延续波磁控管中失掉普遍的运行。 此种阴极加热电流大，要求阴极引线要短而粗，衔接部分要接触良好。 大功率管的阴极引线任务时温度很高，常用强迫风冷散热。 磁控管任务时阴极接负高压，因此引线部分应有良好的绝缘性能并能满足真空密封的要求。 为防止因电子回轰而使阳极过热，磁控管任务稳如泰山后应按规则降低阴极电流以延伸经常使用寿命。 3 能量输入器 能量输入器是把相互作用空间中所发生的微波能保送到负载去的装置。 能量输入装置的作用是无损耗，无击穿地经过微波，保证管子的真空密封，同时还要做到便于与外部系统相衔接。 小功率延续波磁控管大多采用同轴输入在阳极谐振腔高频磁场最强的中央。 放置一个耦合环，当穿过环面的磁通质变化时，将在环上发生高频感应电流，从而将高频功率引到环外。 耦合环面积越大耦合越强。 大功率延续波磁控管常用轴向能量输入器，输入天线经过极靴孔洞衔接到阳极翼片上。 天线普通做成条状或圆棒也可为锥体。 整个天线被输入窗密封。 输入窗常用低损耗特性的玻璃或陶瓷制成。 它不须保证微波能量无损耗的经过和具有良好的真空气密性。 大功率管的输入窗常用强迫风冷来降低由于介质损耗所发生的热量。 4 磁路系统 磁控管正常任务时要求有很强的恒定磁场，其磁场感应强度普通为数千高斯。 任务频率越高，所加磁场越强。 磁控管的磁路系统就是发生恒定磁场的装置。 磁路系统分永磁和电磁两大类。 永磁系统普通用于小功率管，磁钢与管芯结实合为一体构成所谓包装式。 大功率管多用电磁铁发生磁场，管芯和电磁铁配合经常使用，管芯内有上、下极靴，以固定磁隙的距离。 磁控管任务时，可以很简易的靠改动磁场强度的大小，来调整输入功率和任务频率。 另外，还可以将阳极电流馈入电磁线包以提高管子任务的稳如泰山性。 5 磁控管的正确经常使用 磁控管是微波运行设备的心脏，因此，磁控管的正确经常使用是保养微波设备正常任务的必要条件。 磁控管在经常使用时应留意以下几个疑问： 一、负载要婚配。 无论什么设备都要求磁控管的输入负载尽或许做到婚配，也就是它的电压驻波比应尽或许的小。 驻波大不只反射功率大，使被处置物料实践失掉的功率增加，而且会惹起磁控管跳模和阴极过热，严重时会损坏管子。 跳模时，阳极电流突然出现跌落。 惹起跳模的要素除管子自身形式分隔度小外，关键有以下几个方面： ; （1) 电源内阻太大，空载高而激起非π形式。 （2）负载严重失配，不利相位的反射削弱了高频场与电子流的相互作用，而不能维持正常的π模振荡。 （3）灯丝加热缺乏，惹起发射缺乏，或因管内放气使阴极中毒惹起发射缺乏，不能提供π模振荡所需的管子电流。 为防止跳模的出现，要求电源内阻不能过大，负载应婚配，灯丝加热电流应契合说明书要求 二、冷却。 冷却是保证磁控管正常管任务的条件之一，大功率磁控管的阳极常用水冷，其阴极灯丝引出部分及输入陶瓷窗同时启动强迫风冷，有些电磁铁也用风冷或水冷。 冷却不良将使管子过热而不能正常任务，严重时将烧坏管子。 应严禁在冷却缺乏的条件下任务。 三、合理调整阴极加热功率。 磁控管起振后，由于不利电子回轰阴极使阴极温度升高而处于过热形态，阴极过热将使资料蒸发加剧，寿命缩短，严重时将烧坏阴极。 防止阴极过热的方法是按规则调整降低阴极加热功率。 四、装置调试。 目前常用的微波加热设备中磁控管放在奖励腔上直接 五、保管和运输 磁控管的电极资料为无氧铜、可伐等，在酸、碱湿气中易于氧化。 因此，磁控管的保管应防潮、避开酸碱气氛。 防止高温氧化。 包装式磁控管因带磁钢，应防止磁钢的磁性变化，存在时应在管子周围10厘米内不得有铁磁物质存在。 管子运输环节中应放入公用防振包装箱内，以防止受振动撞击而受损坏。