镇江润晶开放铜蚀刻液及其制备方法专利 清楚优化环保性能 (镇江润晶股份有限公司)

专利摘要显示，本发明地下了一种铜蚀刻液及其制备方法包括以下组分：无机酸：占11.5％，过氧化物：占41％，无机酸：占41％，螯合剂：占0.5％～5.0％，蚀刻控制剂：占0.05％～0.5％，外表活性剂：占0.1％～0.5％，其他参与剂：占0.1％～1.0％；在蚀刻液槽中介入预定量的水，然后参与所需的化学物质，将上述组分依照质量百分比介入；对蚀刻液槽中的水和化学物质启动搅拌混合，直抵抵达所需的浓度友好均性。该铜蚀刻液及其制备方法，经过参与不同的组分，不只提高了蚀刻效率，还增强了蚀刻液的选择性和稳如泰山性，同时，它的环保性能也失掉了清楚优化，这些成分相互作用，使得铜蚀刻液具有高稳如泰山性、长蚀刻寿命，并且能够有效提高蚀刻速率，增加氧化剂的消耗，从而延伸蚀刻液的经常经常使用寿命。