大大下降系统的误差风险和缺陷诊断难度 霍浦科技开放基于磁编码器的半导体产品测距定位方法专利 (大大降低是什么意思)

专利摘要显示，本发明属于定位测距范围，详细触及一种基于磁编码器的半导体产品测距定位方法，经过在半导体制造平台上同时装置相对型磁编码器和增量型磁编码器，由相对型磁编码器提供相对位置数据，为增量型磁编码器提供稳如泰山的参考位置，防止了回零操作，同时能够将相对型编码器与增量型编码器的定位数据启动分歧性验证，有助于识别检测潜在的定位误差，从而针对性定位调整，大大下降了系统的误差风险和缺陷诊断难度，与此同时在运行相对型磁编码器和增量型磁编码器启动测距定位前经过对相对型磁编码器和增量型磁编码器启动装置检测并基于装置检测结果启动装置调整，能够最小化因装置误差惹起的测量不准确，从而提高系统的全体测量精度。