南边电网数字电网研讨院开放悬臂梁氢气传感器专利 灵活度和精度高 (南方电网公司数字化部)

专利摘要显示，本开放触及一种悬臂梁氢气传感器及其校准方法、氢气检测系统。该悬臂梁氢气传感器中：衬底构成有一凹槽；两个对称设置的悬臂梁结构设于衬底上，且位于凹槽上方；第一气敏薄膜和第一加热电极设置于其中一个悬臂梁结构背叛凹槽的一侧，且第一气敏薄膜包括钯合金资料；第二气敏薄膜和第二加热电极设置于另一个悬臂梁结构背叛凹槽的一侧，且第二气敏薄膜包括贵金属润饰金属氧化物薄膜；其中，第一加热电极接入第一气敏薄膜的最佳加热温度对应的第一电压，第二加热电极接入第二气敏薄膜的最佳加热温度对应的第二电压，以经第一气敏薄膜和第二气敏薄膜输入表征环境氢气浓度的信号，灵活度和精度高。