阿斯麦先进光刻机已投产 早期数据喜人 英特尔传利好 (阿斯麦先进光刻机想出售到中国吗)
英特尔(INTC.US)周一表示,阿斯麦(ASML.US)的首批两台先进光刻机已在其工厂“投入消费”。早期数据显示,这些新型光刻机比旧款机型更牢靠。
英特尔初级首席工程师Steve Carson在加州圣何塞举行的会议上表示,英特尔运行阿斯麦的高数值孔径(NA)光刻机在一个季度内消费了3万片晶圆,这种大型硅片可以消费数千颗计算芯片。
去年,英特尔成为全球首家接纳这些机器的芯片制造商,估量这些机器将消费比阿斯麦旧款机型更小、更快的计算芯片。此举标志着英特尔战略的转变,该公司在采纳上一代极紫外 (EUV) 光刻机方面落后于竞争对手。
Carson表示,在最后的测试中,阿斯麦高数值孔径光刻机的牢靠性大约是前一代机器的两倍。
Carson表示:“我们以稳如泰山的速度消费晶圆,这对平台来说是一个微小的福音。”
Carson表示,英特尔工厂的早期结果显示,高数值孔径光刻机只要一次性性曝光和“个位数”的处置步骤就能成功旧款机器要求三次曝光和大约40个处置步骤才干成功的任务。
英特尔曾表示,方案经常经常使用高数值孔径光刻机来协助开发所谓的18A制造技术,该技术方案于往年晚些时辰与新一代集团电脑芯片一同启动量产。
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